等离子蚀刻机的维护和清洁是确保其正常运行和延长使用寿命的重要措施。以下是一些常见的维护和清洁要求：1、每日检查：每天使用等离子蚀刻机前，应检查外观、真空泵油位、气体供应系统、冷却水循环系统等是否正常。同时，检查真空度、射频功率、气体流量等参数是否稳定。2、清洁腔体：每次使用后，应清洁腔体内的残留物。可以使用真空吸尘器或......

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